氮氧化合物傳感器和最新敏感材料
文章來源：本站 發布時間：2018-03-31
主要測量方法有壓電石英晶體NO2傳感器，通過在石英諧振器的兩面金電極上修飾對NO2待測組分有較強吸附富集作用的功能層，當待測NO2與功能層接觸時發生吸附，引起石英諧振器表面質量負載的增加，從而使壓電傳感器的振蕩頻率下降，頻率的漂移量與表面負載量有公式，從而可推測氣體的濃度。
半導體NO2傳感器，WO3對NO2有很好的敏感性，但是WO3制備方式和敏感膜的制作技術影響傳感器的氣敏性能。在WO3中摻雜SiO2（含w%）1%～5%，而且敏感膜顆粒為納米級時氣敏特性最好。采用濺射工藝的In2O3、ZnO作下電極，真空蒸發CuPc薄膜作為敏感功能層，上電極為AL叉指電極。
NOx電化學傳感器，固體電解質有采用NASICON超離子導體與亞硝酸鈉作為敏感膜檢測NOx，具有很好的選擇性、響應性；基于穩定氧化鋯制備的NOx固體電解質傳感器則具有良好的化學和機械穩定性；現在研究較多的是現研究最多的是用Nafion膜作為固體聚合物電解質。
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