基于MEMS的新型微結構氣敏傳感器
文章來源：本站 發布時間：2018-12-20
在微電子和微機械迅速發展的基礎上，基于MEMS的新型微結構氣敏傳感器，主要有硅基微結構氣敏傳感器和硅微結構氣敏傳感器。硅基微結構氣敏傳感器是襯底為硅，敏感層為非硅材料的微結構氣敏傳感器。主要有金屬氧化物半導體、固體電解質型、電容型、諧振器型。硅微結構： 主要是金屬氧化物－半導體－場效應管（MOSFET）型和鈀金屬－絕緣體－半導體（MIS）二極管型。
MEMS技術將傳感器與IC電路集成一起，而且精度高、體積小、質量輕功耗低、選擇性高、穩定型高，同種器件之間的互換型高，可以批量生產。所以是傳感器工藝的發展方向，而且基本所有的傳感器都可以用MEMS技術生產。
隨著 MEMS 技術和納米技術的發展，將會給氣敏傳感器的發展提供更廣闊的的前景。同時實現傳感器陳列，也就是電子鼻集成成為可能，并將有很大的發展空間，給傳感器帶來新的發展篇章。
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