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概念與結構

MEMS傳感器是利用集成電路技術工藝和微機械加工方法將基于各種物理效應的機電敏感元器件和處理電路集成在一個芯片上的傳感器。MEMS是微電子機械系統的縮寫，一般簡稱微機電。

如圖所示，主要由微型機光電敏感器和微型信號處理器組成。前者功能與傳統傳感器相同，區別是用MEMS工藝實現傳統傳感器的機光電元器件。后者功能是對敏感元件輸出的數據進行各種處理，以補償和校正敏感元件特性不理想和影響量引入的失真，進而恢復真實的被測量。

MEMS傳感器原理圖

MEMS傳感器主要用于控制系統。利用MEMS技術工藝將MEMS傳感器、MEMS執行器和MEMS控制處理器都集中在一個芯片上，則所構成的系統稱為MEMS芯片控制系統。微控制處理器的主要功能包括A/D和D/A轉換，數據處理和執行控制算法。微執行器將電信號轉換成非電量，使被控對象產生平動、轉動、聲、光、熱等動作。系統接口單元便于同高層的管理處理器通信，以適合遠程分布測控。

應用實例

MEMS傳感器具有體積小、質量輕、響應快、靈敏度高、易批產、成本低、可測量各種物理量、化學量和生物量等優勢，在航天、航空、航海、兵器、機械、化工等領域，尤其是汽車工業獲得較廣泛應用，且國外已形成MEMS產業。

MEMS器件目前已有MEMS壓力傳感器、加速度計、陀螺、靜電電機、磁力矩器、電池、多路轉換開關和矩陣開關等。